▲采用催化和化學(xué)吸附工藝聯(lián)用,進(jìn)行氮氣純化,也可用于氬
氣純化。
▲采用專利催化劑,純化深度高,抗原料氣波動能力強(qiáng)
(200%)。非消耗型填料,使用壽命長。
▲進(jìn)口潔凈管道、閥門,Swagelok全自動軌道焊,專利內(nèi)加熱
拋光反應(yīng)器,全面保證產(chǎn)品質(zhì)量。
▲集約化箱體包裝,全自動運行。
應(yīng)用領(lǐng)域:
▲高純單晶硅、晶片外延、大規(guī)模集成電路、光電生產(chǎn)等電子
行業(yè)氣體終端純化。
▲氣體行業(yè)超純氣體生產(chǎn)、分析零點氣制備。
▲鋼鐵、石化行業(yè)氮氣純化。
型號 | 原料氣 | 產(chǎn)品氣 Outlet(ppm) | ||||||
純度 | O2 | H2O | CO2 | H2 | CO | CH4 | ||
UDC-3 | ≥99.999% | ≥99.99999% | ≤0.01 | ≤0.01 | ≤0.01 | ≤0.01 | ≤0.01 | ≤0.01 |
UDC-2 | ≥99.98% | ≥99.9999% | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.1 |
UDC-1 | ≥98% | ≥99.999% | ≤1 | ≤1 | ≤1 | —— | —— | —— |
工作壓力:0.6~16Mpa 處理量:10~8000Nm3/h 顆粒度:≤0.01μm
典型客戶:馬鋼(合肥)鋼鐵有限責(zé)任公司 ( 年產(chǎn)120萬噸冷軋薄板生產(chǎn)線項目)
氣氛站配置:6600m3/h 變壓吸附制氮機(jī)、指標(biāo)要求:氮氣純度大于99.5%,采用變壓吸附工藝.
6600m3/h高純氮氣純化裝置;采用加氫除氧,聯(lián)合脫氫脫氧聯(lián)合凈化工藝。
合同指標(biāo) 要求:O2≤3ppm; H2≤7ppm; 露點:≤-65℃;
實測指標(biāo): O2 ≤0.1ppm; H2≤1ppm; 露點:≤-80℃